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功率器件的失效定位方法

918   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:59:36
本发明涉及功率器件的失效分析技术领域,是一种功率器件的失效定位方法。漏电流增大是功率器件失效的主要电学表现形式之一,会大幅度减小器件的使用寿命。本发明提供了一种功率器件的漏电流定位方法。方法包括:对失效功率器件样本进行开封;将开封后的功率器件置于载物台上;固定并调节红外热成像仪,使其显示屏刚好容纳芯片;对功率器件进行电压偏置,找到热点最清晰的偏置电压;对功率器件施加恒定的上述偏置电压,获取该偏置电压下的芯片表面热像图;将上述热像图与芯片物理结构图叠加处理,以准确定位异常漏电流。该方法实施便捷,能精确捕捉热点以及定位失效位置。
声明:
“功率器件的失效定位方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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