本发明公开了一种高稳定性单晶硅压差传感器，所述高稳定性单晶硅压差传感器包括有传感器壳体，所述传感器壳体包括有传感器正压腔，传感器负压腔，以及设置于传感器壳体内部的传感器
芯片；传感器正压腔中设置连通至传感器芯片下端面的第一通油孔，传感器负压腔中设置有连通至传感器芯片上端面的第二通油孔；所述传感器壳体中设置有，由传感器壳体外部分别连通至第一通油孔与第二通油孔的充油管道；所述传感器芯片连接有电性接口；采用上述技术方案的高稳定性单晶硅压差传感器，其可通过硅油进行压力的无损传递，以实现对压力差的精确测量，从而有效改善了压差传感器的静压性能，进而使得上述压差传感器的工作稳定性得以提高。
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来源：北方有色网
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