本发明公开了一种硅基光波导和
石墨烯光电混频器集成
芯片与制备方法，其结构包括垂直耦合光栅、硅基光波导器件、硅基光波导和石墨烯光电混频器；其中垂直耦合光栅为调制光信号输入口、光信号通过硅基光波导输入到硅基光波导器件进行处理，处理后输入到石墨烯光电混频器，石墨烯光电混频器对探测到的光信号进行光电转换，栅电极为微波本振信号输入口，微波本振信号与光电转换后的信号进行混频得到中频信号，中频信号由漏电极输出。本发明通过将石墨烯光电混频器与硅基光波导器件进行集成，可同时实现信号处理、探测和混频功能，且集成后混频效率更高；石墨烯光电混频器采用基于HSQ的钝化方法，工艺简单，一次成形，对石墨烯无损伤。
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“硅基光波导和石墨烯光电混频器集成芯片与制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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