本发明提供的是一种MEMS高温压力传感器自动键合方法。它选择由台面、设置在台面上的物流台、操作手、加热炉和显微镜组成的自动键合机进行自动键合;自动键合机的操作手安装在由4个轴控制的4自由度操作手工作台上,加热炉安装在由2个轴控制的2自由度定位工作台上,显微镜安装在包括可上下运动的轴的显微镜自动调焦工作台上。本发明基于显微视觉的高精度、非接触式测量,实现了不论是正面还是反面MEMS高温压力传感器的高精度对准作业;融合视觉/微力觉信息,实现
芯片和玻璃基的高精度、无损抓取和搬运;设备的高自动化程度使得其具有批量制造能力,提高了生产效率。
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来源：北方有色网
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