一种双模静电超声传感器,也称为双模电容超声传感器。它是由许多子传感器在同一平面上排列构成的阵列。子传感器具有典型的膜片-气隙结构,其振动膜片作为活动电极板,背板作为固定电极板,构成电容器。其特征是子传感器的振动模片、侧壁和背板围成一个密闭腔体,密闭腔体内填充有气体。它可以是常规机械加工的,也可以是微加工的。本实用新型可以有效工作在两个共振频率,具有两个工作模式。较之现有的单模式传感器,双模静电超声传感器可形成更宽的带宽,更大的动态范围,更高的声发射功率和声接受灵敏度。这种传感器可应用于机器人定位、导航,液面位置和涂层厚度测量,无损检测、水声和生物医学超声成像。
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来源：北方有色网
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