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精确定位电迁移测试中空洞位置的方法

876   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:58:40
本发明提供一种精确定位微电子器件电迁移测试中空洞位置的方法,将聚焦离子束机台切割以及纳米探针接地的作用应用到微电子器件电迁移测试中空洞位置的无损定位中,大大提高电迁移空洞定位的精确度,进而提高了电迁移失效分析的成功率及效率。
声明:
“精确定位电迁移测试中空洞位置的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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