本发明涉及一种双二维MEMS微镜扫描的高灵敏共焦拉曼光谱快速测量方法及装置，属于显微光谱成像技术领域。该方法利用两片二维MEMS微镜实现光束横向扫描，省去了扫描透镜和管镜，并利用二向色分光系统实现反射光和拉曼散射光的无损分离，利用反射光构建共焦显微成像系统，实现样品几何形貌的快速高空间分辨探测；利用拉曼散射光构建共焦拉曼光谱探测系统，对于表面比较平整的样品，可以进行单层扫描快速完成样品表面的拉曼光谱探测；对于表面起伏比较大的样品，可以进行逐点定焦实现拉曼光谱的高空间分辨探测。本发明具有高灵敏、测量速度快、样品适应性广(可测量表面起伏较大样品)、集成度高且结构简单等优势。
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“双二维MEMS微镜扫描的高灵敏共焦拉曼光谱快速测量方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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