本公开涉及了一种X射线管的真空测量装置、方法以及系统。该X射线管的真空度测量装置，其特征在于，包括：脉冲电源单元，被设置为对一待测X射线管的阳极施加正脉冲电压，产生因所述X射线管内残余气体中存在的自由带电粒子与残余的气体分子之间的碰撞而发生电离的电流；测量电路单元，包括一采样模块，所述采样模块被设置为连接于所述阴极处，并被配置为测量所述电流的大小；以及处理单元，被配置为将测量到的所述电流的大小与一先验的离子电流‑真空参考曲线对比从而得到所述X射线管的真空度。因此，可以对X射线管实现无损的测量其真空度，且具有较高的准确度、灵敏度。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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