本发明公开了一种基于背向补偿的透明基底薄膜厚度测量系统,包括:光源、光谱仪、反射率光纤探头、测量平台和PC机,反射率光纤探头设于测量平台上方,分别与光源、光谱仪连接,光谱仪与PC机连接;光源发出的光经过反射率光纤探头照射到放置在测量平台上的待测具有透明基底的薄膜上,基底以及薄膜的反射光同时又进入反射率光纤探头后被光谱仪接收,接受的数据经过PC机的补偿处理计算,得到薄膜各层的实际厚度。本发明系统无须在样片背面涂覆消光物质来消除背向反射,无需破坏薄膜基底。本发明系统具有简单灵活,自动适应各种不同材料不同厚度的透明基底,整个系统具有结构简单,成本较低,小型化,无损探测等优点。
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来源：北方有色网
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