本发明公开了一种激光干涉法薄膜厚度变化量在线监测方法和装置，该方法是：激光聚焦到被测薄膜上，在薄膜的上下表面产生的两束反射光发生干涉；干涉光被探测，然后形成可视的周期性变化的“电压-时间”曲线；结合周期数和所花时间可得薄膜厚度的变化量。该装置包括：连续型激光二极管、发光二极管、二向色镜、50:50分光片、消色差透镜、红外物镜、第三分光片、成像元件、可见光截止滤光片、光电二极管。通过红外物镜配合发光二极管提供照明可将待测样品表面可见光形貌和测量用的红外激光光斑同时成像于成像元件上，起到实时对样品表面特定点的测量。本发明具有精度高、成本低、实时无损、光路稳定、系统维护方便等优点。
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来源：北方有色网
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