一种扫描显微环境下的薄膜拉伸加载装置与薄膜变形测量方法,属显微扫描无损检测和精密机械领域。该发明是通过设计能进行三维位置和角度调整的机械结构、压电陶瓷驱动系统、力缓冲系统等在原子力扫描显微镜和电子束扫描显微镜检测平台上完成薄膜变形测量,可对微尺度薄膜的全域或局部区域的变形场进行定量检测,被测薄膜厚度从数微米到亚微米厚度,装置可以多次使用,适合不同厚度和尺度的薄膜材料和结构的变形检测,可结合双曝光数字散斑技术、图像相关技术或微标记技术实现高空间分辨镜原子力扫描显微镜或电子束扫描显微镜环境下的薄膜原位、在线检测。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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