本发明提供一种半导体制程量测数据的预测方法，包括：提供一晶圆的历史量测数据及与历史原始过程数据；利用自编码器对第一时间序列数据进行时间步缩短处理，以获得第二时间序列数据；利用第二时间序列数据及历史量测数据对预测模型进行拟合训练，预测模型包括transformer编码器及多层感知机；将待预测原始过程数据输入时间步缩短模型及预测模型，以获得预测量测数据。本发明中，通过自编码器对时间序列数据进行时间步上的缩短，以在无损特征信息前提下以利于提高整体的计算效率，再利用transformer编码器的并行计算以提高计算速度，以及利用自注意力机制在获取数据的大小特征的同时兼顾时间步上的特征，以提高预测的准确率。
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来源：北方有色网
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