本发明涉及一种金属氧化陶瓷层测厚系统及其测厚方法，其中测厚系统包括红外光源、干涉仪、探测器及数据处理器，红外光源发出的红外光经过干涉仪，干涉仪用于将红外光产生干涉形成干涉光，并将干涉光射向试样品，探测器收集反射光，数据处理器用于接收探测器传递过来的反射光信号，并输出所测位置处的干涉图。充分利用了金属氧化陶瓷层在不同厚度条件下红外干涉光信号的变化特征，实现了准确和快速的无损测量，对检测部位无任何损伤，因此可以对锆及锆合金表面氧化层进行全面检验，并且不受表面曲率/形状等因素影响。
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来源：北方有色网
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