本实用新型公开了一种半导体检测设备,包括支撑架和横轴，所述横轴设置在支撑架的下面，所述横轴上设有万向轮，所述支撑架中心处设有SQUID检测系统，所述SQUID检测系统包括检测外壳、SQUID探头和聚焦透镜，所述SQUID探头设置在检测外壳下面，所述聚焦透镜设置在SQUID探头下面，所述检测外壳内侧顶端设有传感器，所述检测外壳一侧设有光电管，所述检测外壳另一侧设有机械手，所述支撑架左侧固定有SQUID控制器，所述SQUID检测系统下面设有防震检测台，所述防震检测台下面设有旋转台，所述旋转台与支撑架转动连接。该实用新型，实现了无损检测，检测的精度较高，具有良好的分辨率，在半导体结构分析和光电器件性能检测等方面，具有很好的应用前景。
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来源：北方有色网
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