本发明公开了一种基于同心双锥面镜的暗场共焦亚表面检测装置和方法，点光源发出的光经过中空反射镜、准直镜、凸锥面镜、凹锥面镜生成环形光，环形光经中空反射镜、分光棱镜和物镜，将环形光汇聚至待测样品，待测样品发出的反射光和散射光经过物镜和分光棱镜，入射至探测互补光阑，反射光被遮挡散射光经过收集透镜和探测针孔，入射至光电探测器，从而完成对亚表面的检测。本发明采用同心双锥面镜生成环形光，光能利用率接近百分之百，提高了成像对比度和信噪比；上下移动的圆柱销可以改变环形光占空比；采用环形光束照明，结合探测互补光阑实现暗场共焦，解决了普通共焦显微技术检测亚表面损伤信噪比低的问题，检测方法适用于亚表面无损检测。
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来源：北方有色网
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