一种基于双目机器视觉的球栅阵列半导体器件品质检测系统,由光学成像和图像采集两部分组成,被测球栅阵列半导体器件放置在载物台上,两个CCD摄像机分别设置在光学显微镜的正上方和被测器件侧面,每一个CCD摄像机配置一套光源,两个CCD摄像机多角度采集的半导体器件图像信息,通过高速图像采集卡传送到计算机,经处理后得到器件检测需要的各项数据,进行器件的品质的评定。本发明采用软件信号触发控制图像采集、双CCD摄像机和彩色图像处理技术,实现对球栅阵列半导体器件品质的高速、高分辨率无损伤检测,满足在线实时检测的需要。
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来源：北方有色网
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