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缺陷检测方法及缺陷检测系统

990   编辑：管理员   来源：北方有色网  
2023-03-19 08:58:06
一种缺陷检测方法，包括：利用不同波长的相干光源(11、12、13、14)照射被测物体；拍摄被测物体在不同波长的相干光源(11、12、13、14)照射下生成的多幅散斑图像；利用散斑图像检测被测物体的缺陷。有益效果：测量精度达到了光波波长量级，可以检测微米级别的微缺陷，是一种非接触、高精度、在线式、实时性的无损检测方法。
声明：
“缺陷检测方法及缺陷检测系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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