用于载流子浓度和迁移率的非接触式测量的装置包括:微波源(16);用于向位于测试位置的样品(59)(例如半导体晶片或平板显示器的屏面)发送微波辐射的圆波导(50);用于检测正向微波功率的第一检测器(18);用于检测被样品反射的微波功率的第二检测器(23);以及用于检测霍尔效应功率的第三检测器(95)。所述样品作为只传输TE11模式的圆波导(50)的终端负载,而样品的后面设置短路器(58)。在垂直于样品平面(并沿着圆波导(50)的轴)的方向上施加磁场。在这种配置中,给定的TE11模式入射波将引起两束反射波。一束是普通的反射波,其极化方向与入射波相同。提供检测器来检测所述反射的辐射。另一束反射波是由霍尔效应引起的,其极化方向垂直于前一种反射波的极化方向,提供探头(70)来检测所述另一束反射波。用探头(70)检测所述另一束反射波,在单一检测器中将探头(70)的输出与正向辐射中经过衰减和移相的部分相组合。
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来源：北方有色网
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