本发明提供了一种超声显微镜无损检测性能的综合校准试块，本发明通过设计一组特殊构形的缺陷试块来完成对超声显微检测系统综合性能参数的校验，经过一次扫查，即可得到超声显微镜综合参数，能够实现对超声显微镜的综合参数检测，并能够适用于对多种超声显微镜。试块上最小的缺陷尺寸为10微米，试块精度很高。缺陷包括沉孔、条状凹槽、菱形刻痕、圆形刻痕以及正方形刻痕，试块为方形且等分为4个部分，分别为第一部分、第二部分、第三部分和第四部分；所述第一部分上表面设置有沉孔；所述第二部分上表面设置有条状凹槽；所述第三部分的上表面设置刻痕；所述第四部分的上表面设置有一组不等间距分布的正方形刻痕和两组尺寸不同的沉孔。
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来源：北方有色网
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