本实用新型涉及一种光学无损检测环形内壁表面的装置,其特征在于:在被测环形内壁的轴线上依设置细玻璃棒、扩束装置、剪切元件、成像装置、线阵CCD和旋转台;剪切元件成像装置、和线阵CCD固定在旋转台上,且线阵CCD的主光轴与旋转轴重合;细玻璃棒设置在环形内壁轴线距环形内壁中心小于200mm的位置,并平行于环形内壁轴线放置;激光器的光轴与玻璃棒的中心轴线呈0.01°～20°角度放置;线阵CCD采集的图像信号输出至计算机,计算机的控制信号输出至旋转台控制旋转台的旋转。利用线阵CCD推扫,根据待测样品表面设计的微位移平台的移动轨道,沿所述移动轨道推扫得到的散斑图消除了散斑像的离焦现象,提高了缺陷检测的灵敏度。
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来源：北方有色网
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