本实用新型涉及一种无损检测MEMS流量传感器，包含设置在管道一侧的红外辐射单元、设置在管道另一侧的红外接收单元；所述红外辐射单元包括设置在管道管壁上用于向外辐射红外波的黑体、设置在黑体外侧用于给黑体加热的加热电阻、设置在加热电阻周围且通过两条导线与加热电阻连接的电源；所述红外接收单元为MEMS红外热电堆传感器阵列，且接收端正对黑体，用于吸收黑体辐射出的红外波，并转化为直流电压；本实用新型安装在管道外部，实现了对管道无损伤测量其内部的流速大小，在工作时受环境干扰小、热污染低，具有更高的准确度，且由于不直接接触流体，无需要额外的防水、密封要求，对管道的内部流体无影响，具有成本低、安装方便等优点。
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来源：北方有色网
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