本发明提供一种遮挡式暗场共焦亚表面无损检测装置和方法，属于光学精密测量技术领域。点光源发出的光依次经过准直镜、遮挡式环形光发生器、分光棱镜和物镜，物镜将激光汇聚至待测样品，载有待测样品信息的反射光和散射光依次经过物镜和分光棱镜，入射至探测互补光阑，反射光被探测互补光阑遮挡，散射光依次经过探测互补光阑、收集透镜和探测针孔，最终入射至光电探测器，从而完成对亚表面的检测。本发明采用遮挡式环形光发生器生成环形光，采用环形光束照明样品，结合探测互补光阑实现暗场共焦，解决了普通共焦显微技术检测亚表面损伤信噪比低的问题，装置简单易于实现，适用于亚表面无损检测。
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来源：北方有色网
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