本发明公开了一种低频声波传感器，包括：输入光纤、薄膜以及基底单元；基底单元介于薄膜和输入光纤之间；薄膜沉积于基底单元的正面；薄膜的厚度为沉积厚度；薄膜的直径为基底单元背面刻蚀至薄膜下表面的第二刻蚀窗口的直径；基底单元用于控制薄膜的直径；薄膜用于接收低频声波，并与输入光纤构成FP腔体；薄膜与输入光纤的端面距离为FP腔体的腔长，沉积方法为化学气相沉积；基底单元背面刻蚀的方法为反应例子刻蚀；本发明可精密控制薄膜的厚度、薄膜直径以及FP腔体的腔长，因此，低频声波传感器有良好的一致性。同时由于本发明中薄膜具有较小的尺寸，可实现高的谐振频率，在250Hz以下的低频测试频段具有平坦的响应特性。
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来源：北方有色网
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