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c-取向排列ZnO: Al薄膜的制备方法

1455   编辑：管理员   来源：北方有色网  
2023-03-19 08:56:52
一种c-取向排列ZnO : Al薄膜的制备方法，先驱体溶液的配制：按 Zn0.99Al0.01O化学式将硝酸锌或乙酸锌与硝酸铝、乙酸铝或氯化铝溶入冰乙 酸中，然后再加入乙二醇和三乙醇胺，向溶液中加入冰乙酸后用盐酸调节 溶液的pH＜5得到先驱体溶液；采用浸涂或旋涂工艺将先驱体溶液涂敷在 基片上；将涂膜后的基片在650-750℃的高温炉中退火60min后自然冷却 得到c-取向排列ZnO : Al薄膜。本发明应用溶胶-凝胶法基片上制备ZnO : Al薄膜，以大于200℃/min的速度快速升温在650-750℃退火则得到高度 c-取向的长柱状颗粒薄膜，柱状的长度方向为晶体的c-轴方向且平行于基 片表面。透光测试表明后一种薄膜具有大的透光率和透光波长范围。
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“c-取向排列ZnO: Al薄膜的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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