本实用新型属于化学气相沉积技术,涉及一种由六套单元系统构成的多工位气相合成金刚石膜装置,各单元系统分别由充气系统、排气系统和反应室等连接构成,六单元系统并联成结构相同、工作相对独立且便于控制的六工位整机装置,氢气和甲烷充气系统并联后接入反应室,反应室内的灯丝安装和更换采用专用工装设备,制有辅助排气管路便于故障检修,具有结构新颖,性能可靠,产量高,质量好,便于维修等优点,可用于厚金刚石膜置备。
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来源：北方有色网
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