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二维过渡金属硫族化合物晶体及其制备方法和用途

921   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:23:05
本发明涉及一种二维过渡金属硫族化合物晶体及其制备方法和用途,所述制备方法包括如下步骤:(1)在加热装置中,沿着气流方向依次放置硫族单质源和过渡金属氧化物源;所述过渡金属氧化物源的表面覆盖有分子筛;所述过渡金属氧化物源的上方放置有生长基底;(2)向所述加热装置中通入保护性气体,升温至所述过渡金属氧化物源的温度达到化学气相沉积温度、硫族单质源的温度达到单质挥发温度,进行化学气相沉积,得到所述二维过渡金属硫族化合物晶体。通过本发明的方法能够制备得到大面积、均匀的单层或多层二维过渡金属硫族化合物晶体,能够用于偏振光电探测或拓扑场效应晶体管。
声明:
“二维过渡金属硫族化合物晶体及其制备方法和用途” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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