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带有多层反射膜的闪烁体阵列及其制备方法和应用

1058   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:23:03
本发明涉及辐射探测技术领域,具体涉及一种带有多层反射膜的闪烁体阵列及其制备方法和应用。本发明提供的带有多层反射膜的闪烁体阵列的制备方法,包括以下步骤:在原位制备的闪烁体阵列表面沉积高反膜,得到带有多层反射膜的闪烁体阵列;所述沉积的方法包括原子层沉积法、物理气相沉积法和化学气相沉积法中的一种或几种。本发明通过采用原子层沉积法、物理气相沉积法或化学气相沉积法在闪烁体阵列的表面沉积高反膜,能够同时对闪烁体阵列中的所有闪烁体条进行镀膜,无需对每个闪烁体条单独镀膜,能够节省制造成本,提高生产效率,且能够适应小尺寸的闪烁体阵列。
声明:
“带有多层反射膜的闪烁体阵列及其制备方法和应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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