本发明揭示一种传感器系统,其具有一氮化
铝(AlN)基板(4)、一在该基板之上的W层(2)、一经调适以向该W层施加电致动信号的信号源(70)及一经调适以感测该W层的响应的传感器(72)。该W层可包含一薄膜, 该薄膜上具有多种类型的可选择保护层(12)。应用包括感测温度、流体流速、流体水平、压力及化学环境。对一平面加热器而言,该W层包含分布在该基板上的多个传导线(34),对于一矩形基板(32)而言该等线大致平行且蜿蜒成型,且对于一圆形基板(42)而言该等线沿在该基板的相对极点(44)处合并的各自的经线(40)延伸。
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“具有钨/氮化铝的稳定高温传感器/加热器系统和方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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