本实用新型涉及一种耐磨的辅助喷嘴及其制造设备,辅助喷嘴包括喷管(1)和套筒(2),表面有一层含硅类金刚石薄膜,其制造设备由真空部分、真空反应部分、产生等离子体部分以及检测部分四个部分组成,包括真空计(1)、靶(2)、基片(3)、样品台(4)、真空系统(5)、磁场(6)和谐振(7),基片(3)放置在样品台(4)上,通过靶(2)作为溅射来源制备含硅类金刚石薄膜,该薄膜具有高硬度和高弹性模量,优异的耐磨性和低摩擦系数,极高的化学惰性。提高了辅助喷嘴的使用寿命,降低喷气织机的使用成本。
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来源：北方有色网
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