多级纯化器的过滤装置，包括一个机体(1)，在机体(1)上设置设定模块(2)、一级纯化模块(3)、二级纯化模块(4)、制冷模块(5)、传输模块(6)、管理模块(7)，运行时，设定模块(2)设定作业所需的压力和温度，一级纯化模块(3)运用物理吸附方法来纯化气体，二级纯化模块(4)运用化学方法来纯化气体，管理模块(7)将感应到的各种信息进行综合处理；设置温度感应模块(8)，感应作业时温度是否达到标准；设置压力感应模块(10)，感应多级纯化器作业时压力是否达到标准；提示模块(9)，当检测到纯化器作业时压力异常或者温度异常时发出提示。
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来源：北方有色网
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