本发明属于光学传感检测技术领域，具体为一种微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感
芯片及其制备方法。本发明光学传感芯片包括：两块平面反射镜、中间有中空微泡的石英微管、两根方形石英管；两块平面反射镜上、下平行放置，两根方形石英管设置于两块平面反射镜左右两边，保证两块反射镜保持高度平行；中空石英微泡设置于两块平面反射镜之间，两端与平面反射镜之间粘合固定，形成微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片；平面反射镜表面镀有特定反射率的金属薄膜或介质薄膜。本发明基于微泡的透镜效应，使传感芯片具备高灵敏度、低模式体积和高品质因子的特性，同时集成天然的微流通道，实现低浓度化学分子或者无标记生物分子传感。
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来源：北方有色网
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