本发明公开了一种不同阶模态耦合的模态局部化微质量传感器，属于微机电系统技术领域，包括：厚度不等的第一固支梁和第二固支梁；第一固定端对称分布于第一固支梁两端，第二固定端对称分布于第二固支梁两端；上耦合电极固定在第一固支梁的下表面，下耦合电极固定在第二固支梁的上表面；上耦合电极与下耦合电极之间由直流电压构成静电耦合；第一固支梁由驱动电源通过驱动电极驱动；当调节第一固支梁和第二固支梁的厚度为预设值，并通过驱动电压对第一固支梁驱动以及耦合电压产生静电耦合时，第一固支梁工作在三阶模态，第二固支梁工作在二阶模态。相较于传统的激励一阶模态的传感器，本发明的灵敏度更高，可用于检测病毒、蛋白质、化学药品等物质。
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来源：北方有色网
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