本实用新型提供一种基于
石墨烯的中红外高灵敏度电可调传感器，其组成包括：掺杂硅基板（1）、SiO2介质基板（2）、石墨烯层（3）、直流电源（4）、Au电极（5a、5b）、椭圆形凹槽（6）、矩形凹槽（7）；所述石墨烯层和所述掺杂硅基板至少覆盖所述测试电极。本实用新型的基于石墨烯的中红外高灵敏度电可调传感器采用“金属‑介质‑金属”结构，整体结构简单，以便降低批量制造的难度和成本；本实用新型的基于石墨烯的中红外高灵敏度电可调传感器对常见污染气体具有较高的灵敏度和品质因数，结合谐振腔提高检测的性能；本实用新型的基于石墨烯的中红外高灵敏度电可调传感器具有性能可调性和工作频段可调性，利用所述电极和所述外加直流电源，从而改变石墨烯的化学势而改变谐振模式。
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“基于石墨烯的中红外高灵敏度电可调传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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