本实用新型公开了一种固态参比电极及其压头装置，其中，第一涂层、第一导电层、硅晶片、第二导电层和信号传输结构；沿所述第一涂层至所述第二导电层的垂直方向上，所述第一涂层、所述第一导电层、所述硅晶片和所述第二导电层依次层叠；所述信号传输结构焊接在所述第二导电层上，所述第一涂层位于所述第一导电层背离所述硅晶片的一侧表面，本实用新型实施例提出的固态参比电极方便保存和维护，其电压稳定性高，可适用于精密的
电化学检测，电极体积小，可以适用于测序仪相关的微小结构中。
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来源：北方有色网
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