本发明提供一种研磨垫温度控制方法、装置及研磨设备，在研磨样品之前将研磨垫的表面温度设置为初始研磨温度，在研磨样品的过程中监测研磨垫表面的温度，而后在研磨垫表面的温度变化值超过预设阈值时，调节研磨垫表面的温度至初始研磨温度，这样，在研磨样品之前将研磨垫的表面温度设置为研磨样品的最佳温度，有利于精准的控制研磨样品的速率，而后在研磨样品的过程中，实时检测研磨垫表面的温度，在研磨垫的表面温度变化值超过预设阈值时，通过研磨控片使得研磨垫的表面温度达到研磨样品的最佳温度，精确控制研磨垫的表面温度，有利于提高化学机械研磨的稳定性，提高研磨的效率。
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来源：北方有色网
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