本发明公开了一种MEMS红外光源及其制备方法，通过MEMS加工技术，制备出适合气体检测的MEMS红外光源，包括如下步骤：1）在双面抛光的单晶硅衬底上，利用干法氧化的方法，在两面形成致密的氧化硅薄膜，随后以化学气相沉积的方式在正面生长氮化硅薄膜；2）在氮化硅薄膜上，以磁控溅射的方式生长电极连接层Ti和电极层Pt；3）以MEMS加工工艺中的光刻、刻蚀等方法，图形化出加热电极；4）以反应离子刻蚀的方式，去除多余的氧化硅和氮化硅；5）以干法刻蚀和湿法刻蚀相结合的方式，形成悬空结构。本发明制备的MEMS红外光源工艺简单，成本低，易于批量化生产，适用于便携式、微型化的气敏检测系统。
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来源：北方有色网
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