本实用新型公开了超净高效电子级氢氟酸提纯装置，包括第一化学处理槽，所述第一化学处理槽的一侧从左至右横向依次排列有第一蒸馏塔、第一冷凝槽、第一输送泵、第二化学处理槽、第二蒸馏塔、第二冷凝槽、第二输送泵、第三化学处理槽、第三蒸馏塔、第三冷凝槽、第三输送泵和储料罐；该装置通过管道输送将化学处理槽与多个蒸馏塔和冷凝槽相连接，循环三次氧化蒸馏冷凝过程，保证氢氟酸纯净度；通过对冷凝槽检测三个取样点中氢氟酸的主要杂质含量，调整高
锰酸钾与双氧水配比参数，保证氧化剂中的离子与氢氟酸分离，方便氧化剂比例实时调控；利用已有调控参数记录，可整理出氧化剂量和杂质含量对应关系，方便以后操作。
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来源：北方有色网
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