本实用新型涉及一种废气处理装置,特别是涉及一种对EPI、PLOY或PECVD化学气相沉积工艺尾气进行净化处理的外延炉尾气净化器。它具有PID控制器(35)、实时检测外延炉尾气净化器的进气口(8)的负压情况的负压检测装置(34)和控制循环泵组(21)的电机的转速的变频器(36),负压检测装置(34)安装在进气口(8)处,负压检测装置(34)接PID控制器(35)的输入端,变频器(36)接PID控制器(35)的输出端。本实用新型的外延炉尾气净化器能实时检测外延炉的尾气排放量,根据外延炉尾气排放量控制电机转速,在尾气排放比较少的情况下,控制电机低速运转,达到节能的效果。
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来源：北方有色网
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