本发明提供具备即使在不能确定流路内的析出物的化学组成的情况下也能够检测析出物在流路内堆积至既定的厚度的传感器的
真空泵。真空泵（1）具有在其间形成有内部流路的旋转部及固定部、将气体从吸入口穿过内部流路送向排气口的排气机构、用于检测堆积物在内部流路的检测对象位置达到既定的厚度的主传感器（42），主传感器（42）具有以与既定的厚度对应的间隔配置于内部流路的至少一对电极（54、56）、与一对电极（54、56）连接来检测一对电极（54、56）间的静电容量的静电容量检测回路（46），静电容量检测回路（46）基于静电容量的增加率下降判定成内部流路内的堆积物达到既定的厚度。
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“真空泵、主传感器及螺纹槽定子” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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