一种利用化学气相沉积法制备螺旋状氮化硅陶瓷晶须的方法,涉及微力学弹性器件、发光材料、旋光材料和
复合材料。采用一水平管式高温电阻炉为反应仪器,在通入一定流量氨气的条件下,将一定配比混合均匀的硅粉和二氧化硅粉体为反应物,置入其中进行高温处理,当加热温度在700℃-1400℃、保温时间在0.5-10H时,即可获得大量螺旋状氮化硅陶瓷晶须。结果分析表明所制备的螺旋状氮化硅陶瓷晶须表面光滑、无杂质,而且大部分呈规则卷曲状结构,卷曲长度可达数毫米。此制备方法简便易行,产率高,是获取螺旋状氮化硅陶瓷晶须的一个有效途径,具有良好的应用前景。
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来源：北方有色网
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