本发明涉及一种利用功能化
碳纳米管为敏感材料的微悬臂梁传感器的制造方法,属于微纳传感器领域。特征在于采用多壁碳纳米管为传感器制造原料,经过强酸预处理,使多壁碳纳米管表面形成可功能化修饰的反应活性点。然后依据分子自组装技术,将多壁碳纳米管固定到MEMS传感器的金表面上。最后根据目标检测气体的化学性质(例如氨气和羧基之间以及甲醛和胺基之间都存在着一定的氢键作用等),通过分子设计,将固定在MEMS传感器金表面的碳纳米管再次进行功能化基团修饰,使其可用于对特定目标气体的检测。
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“利用功能化碳纳米管为敏感材料的微悬臂梁传感器的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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