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涂胶显影机废液排液装置

1023   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:32:30
本发明属于半导体涂胶显影机技术领域,具体涉及一种涂胶显影机废液排液装置,包括过滤器、排液管路以及排液检测部,其中排液检测部用于检测并实时显示排液管路中是否有所述化学品流动。本发明能够使相应人员实时监控过滤器排液管路中是否有化学品流动,时时提醒相关人员排液阀是否关闭或损坏,避免因为未关闭排液管路所引起的化学品外泄造成污染。
声明:
“涂胶显影机废液排液装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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