本发明公开了一种气体净化装置，该气体净化装置用以接收化学液体以与气体混合，并用以净化气体。气体净化装置包括多个液体状态检测器、多个气体状态检测器、多个泵送马达、气体驱动马达以及控制器。液体状态检测器配置在传输化学液体的传输通道中，侦测化学液体的多个液体状态信息。气体状态检测器配置在传输气体的传输通道中，用以侦测气体的多个气体状态信息。控制器针对液体状态信息以及气体状态信息进行运算，藉以调整第一设定值以及第二设定值。第一设定值以及第二设定值分别用以驱动泵送马达以及气体驱动马达。
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来源：北方有色网
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