本实用新型提出了一种自动进料的系统，用于制备含硅薄膜，包括：机械手、低压化学气相沉积设备腔、控制器、检测设备、电机，所述的机械手用于抓取衬底投放于所述的低压化学气相沉积设备腔内，所述的控制器能控制所述的电机带动所述的机械手运转或停止，所述的检测设备检测传送至所述的低压化学气相沉积设备腔中的衬底是否足量。实施本实用新型的技术方案中，通过自动输送生成含硅薄膜的衬底进入低压化学气相沉积设备腔，以方便进行化学反应，解放了人力，实现了自动化生产。
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来源：北方有色网
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