本发明涉及一种硅悬臂梁传感器及其制备方法和应用,属于微纳米传感器领域。即在悬臂梁的自由末端附近通过选择性阳极氧化方法在氢氟酸溶液内形成多孔硅结构。利用该多孔硅区域增大的比表面结构,在硅孔内壁上自组装大量特异性识别的具有硅氧头基和特异性尾基的线性聚合物或超枝化聚合物敏感分子,可以特异性俘获大量的被检测化学分子以积累较大的被测物俘获质量。本发明的一种硅悬臂梁传感器结构简单、制作方便、容易实现,可以应用在痕量化学气体检测。
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来源：北方有色网
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