本发明涉及半导体制造行业的失效分析领域，尤其涉及一种应用于光发射显微镜的固定装置，包括底座和位于该底座上的若干条挡块，且该底座与所述若干条挡块共同构成承载主体；所述若干条挡块之间形成了多个样品槽，且每相邻的两条挡块之间分别设置有一条滑块。该结构使得本发明的
芯片测试结构不会被胶带遮挡而影响到探针扎针，芯片表面也不会受到污染；同时，芯片背面与固定装置底座充分接触，不会因倾斜而影响光发射显微镜的镜头聚焦；再次，当探针进行扎针时，针尖与芯片不会发生相对滑动，而且整个操作过程不涉及化学物品，安全无害。从而可以帮助分析人员快速、高效、安全地进行缺陷定位分析工作，提高了失效定位率和成功率。
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来源：北方有色网
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