本发明公开了一种薄膜型热电转换器及测量方法，涉及电学计量技 术，包括以硅片为衬底，利用低压化学气相外延方法在衬底上生长的 SiO2-Si3N4-SiO2三层薄膜夹层结构，多次磁控溅射不同材料以及多次光刻、 腐蚀制备的热偶、加热器和接触电极；其中，两个加热器并排放置在一个 热偶的两侧。本发明的薄膜型热电转换器，测量时，使交流和直流同时分 别流过两个加热器，在热偶上输出交流、直流电功率导致的温度差，直接 比较交流与直流电功率，使环境温度和温度梯度的变化对测量结果影响大 大降低。
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来源：北方有色网
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