本发明提供一种电容-电压测试预处理的方法，包括如下步骤：提供一待测试片；将所述待测试片置于臭氧环境中进行预处理，以形成一氧化层。本发明的优点在于，采用臭氧处理测试片表面后，大大简化了处理的流程，缩短了预处理的时间，仅占现有预处理方法20%左右的预处理时间。并且由于不使用化学药剂，具有处理更加高效、更加环保、更加安全、更加节约成本、且测试重复性好等优点。
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来源：北方有色网
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