本发明涉及一种用于制造包括基于氧化钒(VO
x)的敏感材料(15)的至少一个微测辐射热计(10)的方法，所述敏感材料包括氮作为附加化学元素，所述方法包括以下步骤：i.确定附加化学元素(N)的非零有效量，基于该有效量，在温度T
r下经受暴露持续时间Δt
r的步骤的敏感材料(15)在环境温度下的电阻率ρ
a|r大于或等于所述敏感材料(15)在环境温度下的固有值ρ
a的50％；ii.将所述敏感材料(15)制成薄层，其附加化学元素(N)的量大于或等于之前确定的有效量，所述敏感材料是非晶的，并且具有1至30Ω.cm的电阻率；iii.在T
r温度下将所述敏感材料(15)暴露持续时间Δt
r。
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“用于制造具有基于氧化钒的敏感材料的微测辐射热计的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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来源：北方有色网
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