本发明公开了一种铋‑氧化
锡深紫外光探测器及其制备方法。探测器的铋掺杂氧化锡薄膜的化学式组成为BixSn1‑xO2，化学式中的0.04≤x≤0.3，其中，薄膜中铋的价态为Bi+3和Bi+5的比例为45‑55％：45‑55％，薄膜的厚度为80‑200nm，其上置有电极；方法为先将铋锡混合靶和衬底分别置于磁控溅射设备真空室内的阴极上和样品台中，再使真空室处于氩‑氧混合气氛中，于450‑700℃下溅射30‑90min，得到覆于衬底上的铋掺杂氧化锡薄膜，之后，先于其上安装电极，再将安装有电极的铋掺杂氧化锡薄膜与衬底剥离，制得目的产物。它具有低暗电流下的窄紫外波段响应的高量子效率和高探测率，极易于商业化地广泛应用于火焰报警、电晕检测、日盲区预警等弱紫外光探测领域。
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“铋‑氧化锡深紫外光探测器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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